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螺栓夹紧式朗之万(Langevin)振动器使用功率表法的负荷试验 -
- JIS C6790-2016 - 中外标准 - JIS- 2016/1 - 现行
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半导体器件. 微型机电装置. 第20部分：陀螺仪 -
- JIS C5630-20-2015 - 中外标准 - JIS- 2015/1 - 现行
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半导体器件. 微型机电装置. 第19部分：电子罗盘 -
- JIS C5630-19-2014 - 中外标准 - JIS- 2014/1 - 现行
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半导体器件. 微型机电装置. 第18部分：薄膜材料的弯曲试验方法 -
- JIS C5630-18-2014 - 中外标准 - JIS- 2014/1 - 现行
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半导体器件.微电机装置.第13部分:MEMS结构用粘合强度测量用弯曲- 和剪切-型式试验 -
- JIS C5630-13-2014 - 中外标准 - JIS- 2014/1 - 现行
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半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳测试方法 -
- JIS C5630-12-2014 - 中外标准 - JIS- 2014/1 - 现行
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半导体器件.微电机装置.第6部分:薄膜材料的轴向疲劳测试方法 -
- JIS C5630-6-2011 - 中外标准 - JIS- 2011/1 - 现行
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螺栓夹紧式朗之万(Langevin)振动器使用功率表法的负荷试验 -
- JIS C6790-2010 - 中外标准 - JIS- 2010/1 - 废止
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半导体器件.微型机电器件.第3部分:拉伸测试用薄膜标准试样 -
- JIS C5630-3-2009 - 中外标准 - JIS- 2009/1 - 现行
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半导体器件.微型机电器件.第2部分:薄膜材料的拉伸测试方法 -
- JIS C5630-2-2009 - 中外标准 - JIS- 2009/1 - 现行
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