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硅MEMS器件加工技术及展望 -
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被引用 46次 )
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期刊论文 ] 《微纳电子技术》 ISTIC PKU - 2010年7期 徐永青 杨拥军 Xu Yongqing Yang Yongjun -
关键词 ：微电子机械系统 体硅工艺 表面工艺 穿硅通孔 3D封装
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硅基SiO2光波导 -
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被引用 19次 )
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期刊论文 ] 《半导体学报》 ISTIC EI PKU - 2001年12期 徐永青 梁春广 杨拥军 赵彤 -
关键词 ：二氧化硅 光波导 氢氧焰淀积 微电子机械系统
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基于RFID的边界虚拟参考标签改进算法 -
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被引用 20次 )
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期刊论文 ] 《计算机应用研究》 ISTIC PKU - 2013年1期 李鹏 马宁 杨拥军 文光俊 LI Peng MA Ning YANG Yong-jun WEN Guang-jun -
关键词 ：射频识别 室内定位 IMPRO_BVIRE算法 小概率排除法 接收信号强度指示
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一种新型的微机械电子隧穿加速度计 -
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被引用 15次 )
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期刊论文 ] 《东南大学学报(自然科学版)》 ISTIC EI PKU - 2000年6期 杨拥军 李立杰 徐永青 赵彦军 梁春广 魏同立 Yang Yongjun Li Lijie Xu Yongqing Zhao Yanjun Liang Chunguang Wei Tongli -
关键词 ：加速度计 电子隧穿 微机械 accelerometer electron tunneling micromachine
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基于分段电极的电场探测系统灵敏度研究 -
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被引用 2次 )
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期刊论文 ] 《光电子·激光》 ISTIC EI PKU - 2007年8期 杨拥军 陈福深 孙豹 YANG Yong-jun CHEN Fu-shen SUN Bao -
关键词 ：电场传感器 光调制器 集成光学 分段电极
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应用于MEMS陀螺仪的SoC设计 -
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期刊论文 ] 《计算机测量与控制》 ISTIC PKU - 2023年4期 刘昊哲 任臣 王晓 杨拥军 LIU Haozhe REN Chen WANG Xiao YANG Yongjun -
关键词 ：微电子机械系统(MEMS) 陀螺 Cortex-M3 集成化 片上系统(SoC)
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城域CWDM系统的关键器件 -
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被引用 5次 )
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期刊论文 ] 《电子科技大学学报》 ISTIC EI PKU - 2003年3期 杨拥军 陈福深 -
关键词 ：粗波分复用 城域网 密集波分复用 光器件
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基于MEMS的多模态电磁式能量采集器设计与仿真 -
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期刊论文 ] 《传感器与微系统》 ISTIC PKU - 2018年7期 陈庆东 王俊平 王宁 徐淑静 杨拥军 杨瑞霞 CHEN Qing-dong WANG Jun-ping WANG Ning XU Shu-jing YANG Yong-jun YANG Rui-xia -
关键词 ：能量采集器 微机电系统 机械振动 电磁 多模态
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基于体硅工艺的微反射镜的原理性实验 -
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被引用 2次 )
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期刊论文 ] 《清华大学学报(自然科学版)》 ISTIC EI PKU - 2004年8期 王子旸 徐永青 杨拥军 尤政 任大海 -
关键词 ：物理光学仪器 微光机电系统 微反射镜 激光
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