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谐振式MEMS压力传感器的制作及圆片级真空封装 -
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被引用 14次 )
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期刊论文 ] 《光学精密工程》 ISTIC EI PKU - 2014年5期 陈德勇 曹明威 王军波 焦海龙 张健 CHEN De-yong CAO Ming-wei WANG Jun-bo JIAO Hai-long ZHANG Jian -
关键词 ：微电子机械系统 谐振式压力传感器 绝缘体上硅(SOI) 阳极键合 真空封装 Micro-electromechanical System (MEMS) resonant pressure sensor Silicon On Isolation (SOI) anodic bonding vacuum packaging
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基于自停止腐蚀技术的H型谐振式微机械压力传感器 -
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被引用 10次 )
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期刊论文 ] 《光学精密工程》 ISTIC EI PKU - 2011年12期 李玉欣 陈德勇 王军波 焦海龙 罗振字 LI Yu-xin CHEN De-yong WANG Jun-bo JIAO Hai-long LUO Zhen-yu -
关键词 ：微机械压力传感器 谐振式压力传感器 双端固支梁 差分检测 黏和键合
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一种新型微机械谐振式压力传感器研究 -
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被引用 25次 )
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期刊论文 ] 《传感技术学报》 ISTIC PKU - 2009年6期 史晓晶 陈德勇 王军波 毋正伟 刘磊 SHI Xiaojing CHEN Deyong WANG Junbo WU Zhengwei LIU Lei -
关键词 ：谐振式压力传感器 MEMS 电磁激励 差分检测 FEA-ANSYS
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差分谐振式压力微传感器灵敏度匹配特性 -
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被引用 2次 )
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期刊论文 ] 《强激光与粒子束》 ISTIC EI PKU - 2016年6期 邢永豪 谢波 陈健 陈德勇 王军波 Xing Yonghao Xie Bo Chen Jian Chen Deyong Wang Junbo -
关键词 ：微机电系统 谐振式压力传感器 差分频率 灵敏度匹配 双谐振器 有限元分析 resonant pressure micro sensor differential frequency output identical sensitivity dual resonators finite element analysis simulation
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单细胞结构和电学特征检测方法 -
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期刊论文 ] 《电子与信息学报》 ISTIC EI PKU - 2022年8期 梁红雁 陈德勇 王军波 陈健 LIANG Hongyan CHEN Deyong WANG Junbo CHEN Jian -
关键词 ：单细胞分析 结构特征 电学特征 微流控
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MEMS宽带电化学地震检波器 -
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被引用 3次 )
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期刊论文 ] 《光学精密工程》 ISTIC EI PKU - 2015年2期 何文涛 陈德勇 王军波 张正宇 HE Wen-tao CHEN De-yong WANG Jun-bo ZHANG Zheng-yu -
关键词 ：微机电系统(MEMS) 电化学地震检波器 宽频带 Su-8绝缘层 Micro-electro-mechanical System(MEMS) electrochemical seismometer broadband Su-8 insulating spacer
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单晶硅振动环陀螺仪的制作 -
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被引用 7次 )
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期刊论文 ] 《光学精密工程》 ISTIC EI PKU - 2010年11期 张明 陈德勇 王军波 ZHANG Ming CHEN De-yong WANG Jun-bo -
关键词 ：微机械加工工艺 深刻蚀 阳极键合 振动环陀螺
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高性能电磁式微机械振动环陀螺 -
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被引用 7次 )
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期刊论文 ] 《光学精密工程》 ISTIC EI PKU - 2009年8期 陈李 陈德勇 王军波 毋正伟 张明 CHEN Li CHEN De-yong WANG Jun-bo WU Zheng-wei ZHANG Ming -
关键词 ：电磁式陀螺 微机械陀螺 振动环
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一种电磁式微机械振动环陀螺的建模与优化 -
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被引用 11次 )
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期刊论文 ] 《纳米技术与精密工程》 ISTIC EI - 2009年3期 陈李 陈德勇 王军波 毋正伟 张明 CHEN Li CHEN De-yong WANG Jun-bo WU Zheng-wei ZHANG Ming -
关键词 ：电磁式微机械陀螺 振动环 数学建模 优化设计
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