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航天长征火箭技术有限公司MEMS中心,北京,100076 |
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议论文集 |
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第九届全国敏感元件与传感器学术会议 |
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2005年8月1日 |
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西安 |
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中国电子学会,中国航空学会,中国仪器仪表学会 |
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chi |
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MEMS
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2007年1月30日 |
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